數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-N100 系列
概要
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
特征
大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給
| 型號(hào) | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
| SEC-N102 系列 | 數(shù)字式信號(hào)傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet? 通訊 | 符合ODVA標(biāo)準(zhǔn) |
| SEC-N105 系列 | CC-Link?通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link?標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| SEC-N106系列 | PROFIBUS? 通訊方式 | 符合PROFIBUS? 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC) |
| 模擬式通訊 | ||
| ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
| SEC-N107系列 | EtherCAT? 通訊方式 | 符合EtherCAT?標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V |
精度：±1.0% S.P. (*1)
1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)
多氣體，多量程解決方案
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
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