質(zhì)量流量控制器 SEC-400系列
概要
它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)。
利用小型裝置的SEC-310，可以進(jìn)行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進(jìn)行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號(hào)：SEC-405可以進(jìn)行±0.5％F.S.的流量控制。
特征
可對(duì)應(yīng)±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
同系列產(chǎn)品，從0.1CCM至200SLM(N2)都可進(jìn)行流量控制
實(shí)現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式
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