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深圳市奧凱測(cè)控技術(shù)有限公司

一家從事測(cè)試測(cè)量整體解決方案的專業(yè)提供商

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當(dāng)前位置:網(wǎng)站首頁(yè)產(chǎn)品中心日本Horiba
質(zhì)量流量控制器 SEC-400系列

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)。
利用小型裝置的SEC-310,可以進(jìn)行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進(jìn)行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號(hào):SEC-405可以進(jìn)行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

可對(duì)應(yīng)±0.5%F.S.:SEC-405(氣體種類限定)

同系列產(chǎn)品,從0.1CCM至200SLM(N2)都可進(jìn)行流量控制

實(shí)現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式


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